لیتوگرافی با استفاده از پرتو الکترونی فرایند هدایت پرتو الکترون در سراسر یک لایه پلیمر حساس به الکترون است که نتیجه آن ایجاد یک الگو است که میتواند زدایش شود. با استفاده از این روش ساختارهای زیر 20nm هم میتوانند تولید شوند. این تکنیکی است که معمولا برای ساخت موجبرها و رزوناترهای سایز نانو استفاده میشود.... برای خرید فتورزیست و SU8 به سایت نانوبازار مراجعه نمایید. www.nano-bazar.ir
آی-ویدئو